,例如，一旦用户对操作面板140进行操作,从操作面板向信号处理部144输出开始检测处理的意思的指示信号，首先，信号处理部144就会将光源动作的信号对光源驱动电路145输出，使光源135A动作。光源135A —被驱动，就会以单一波长从光源135A射出直线偏振光的稳定激光。而且，光源135A中内置有温度传感器和光量传感器,其信息被向信号处理部输出。而且，信号处理部144 一旦根据从光源135A输入的温度和光量,判断光源135A处于稳定动作中，就会控制排出驱动电路150并使排出装置133动作。由此，包含应检测目标物质(气体分子)的气体试料被从吸引口 120A引导至吸引流道120B、传感器芯片110中、排出流道120C以及排出口 120D。另外，吸引口 120A中设置有除尘过滤器120A1，可除去比较大的粉尘和一部分水蒸气等。
[0229]而且，传感器芯片110是编入多个金属纳米构造体，利用局域表面等离子体共振的传感器。在这种传感器芯片110中，通过激光会在金属纳米构造体间形成增强电场，一旦气体进入该增强电场中，就会产生包含分子振动信息的拉曼散射光和瑞利散射光。
[0230]这些瑞利散射光和拉曼散射光通过光学部135入射至滤波器136中，瑞利散射光通过滤波器136分离，拉曼散射光入射至光学元件5中。而且，信号处理部144对元件驱动电路12输出控制信号。由此,兀件驱动电路12和上述第一实施方式同样地使光学兀件5的静电致动器56驱动，并通过光学元件5使对应于检测对象气体分子的拉曼散射光分光。一旦由受光部58接收被分光后的光，对应于受光量的受光信号便通过受光处理电路11输出至信号处理部144。这种情况下，可以准确地从光学元件5中提取所需的拉曼散射光。
[0231]信号处理部144将如上所述得到的成为检测对象的气体分子所对应的拉曼散射光的光谱数据与存储于ROM中的数据进行比较，判定是否是目的气体分子，从而进行物质的鉴定。而且，信号处理部144或将该结果信息显示在显示部141上，或从连接部142输出到外部。
[0232]另外，在上述图12和图13中，举出了通过光学元件5将拉曼散射光分光并从分光后的拉曼散射光进行气体检测的检测装置100为例，但作为气体检测装置，也可以使用通过检测气体固有的吸光度而鉴定气体类别的气体检测装置。这种情况下，将导入气体至传感器内部并检出入射光中被气体吸收的光的气体传感器作为本发明的光学模块使用。而且，将这种利用气体传感器对流入传感器中的气体进行分析和判别的气体检测装置作为本发明的电子设备。即使这样的构成，也可以使用波长可变干涉滤波器检测气体成分。
[0233]而且，作为用于检测特定物质的存在的系统，不仅限于如上所述的气体检测，也可以举例如:利用近红外线光谱的糖类的非侵入性测量装置、以及食物和生物体、矿物等信息的非侵入性测量装置等物质成分分析装置。
[0234]下面，作为上述物质成分分析装置的一个例子，对食物分析装置进行说明。
[0235]图14是示出作为利用本发明的光学模块的电子设备的一例的食物分析装置的简要构成的图。
[0236]如图14所示，该食物分析装置200包括:检测器210、控制部220、显示部230。检测器210包括:射出光的光源211、来自测量对象物的光被导入其中的摄像透镜212、以及对从摄像透镜212导入的光进行分光的光学元件5。另外，也可以形成不设置光学元件5，而设置光学元件5A和光学装置600的结构。
[0237]而且，控制部220包括:控制光源211的点亮与熄灭，且进行点亮时的亮度控制的光源控制部221、控制光学元件5的元件驱动电路12、在光学元件5中取得所检测的光量的受光处理电路11、信号处理部224以及存储部225。
[0238]该食物分析装置200如果使系统驱动，光源211就受到光源控制部221的控制，光从光源211照射到测量对象物上。而且，由测量对象物反射的光通过摄像透镜212入射至光学元件5。在元件驱动电路12的控制下，光学元件5利用上述第一实施方式所示的驱动方法驱动。由此，能够以高精度从光学元件5检测出目标波长的光。而且，信号处理部224控制元件驱动电路12并使施加到光学元件5的电压值改变，从而取得各波长的光量。
[0239]而且，信号处理部224对存储于存储部225的各波长所对应的光量进行演算处理，并求得测量点的光谱。而且，在存储部225中，存储有例如对于光谱的食物成分的相关信息，信号处理部224基于存储在存储部225中的食物相关信息分析求得的光谱数据，并求出包含于检测对象的测量点的食物成分。
[0240]而且，在图14中，示出的是食物分析装置200的例子，也可以利用大致相同的构成，将其作为如上所述的其它信息的非侵入性测量装置使用。例如，可以作为血液等体液成分的测量、分析等分析生物体成分的生物体分析装置使用。作为这种生物体分析装置，例如，作为测量血液等体液成分的装置，若是检测乙醇的装置，则可以用作检测驾驶员的饮酒状态的防酒后驾车装置。此外，也可以作为具备这种生物体分析装置的电子内窥镜系统使用。
[0241]而且，还可以作为实施矿物的成分分析的矿物分析装置使用。
[0242]而且，作为本发明的光学模块、电子设备，可适用于如下装置。
[0243]例如，通过使各波长的光的强度随时间而改变，也能利用各波长的光来传输数据，这种情况下，通过利用设置于光学模块的波长可变干涉滤波器对特定波长的光进行分光，并由受光部接收，能够提取由特定波长的光传输的数据，通过利用具备这种数据提取用光学模块的电子设备，并对各波长的光的数据进行处理，还能实施光通信。
[0244]而且，也可以将本发明的光学模块作为生物体认证装置使用，例如，也可适用于采用近红外区域和可见光区域的光的血管和指纹、视网膜、虹膜等认证装置。
[0245]而且，可以将光学模块和电子设备作为浓度检测装置使用。这种情况下，通过光学元件，对从物质射出的红外能量(红外光)进行分光和分析，从而测量样品中的分析物浓度。
[0246]如上所述，本发明的光学元件适用于任何对入射光中的指定光进行分光并检出其光量的装置。而且，如上所述，本发明的光学元件可以利用一台设备将多个波长分光，无需另外使用检测器等受光装置。因此，与通过多台设备提取所需波长的原有装置相比，能促进光学模块和电子设备的小型化，例如，可以优选作为便携式和车载用的光学装置使用。
[0247] 此外，本发明实施时的具体结构，在可以实现本发明目的的范围内，可适当地变更为其它结构。
【主权项】
1.一种光学兀件，其特征在于，具备: 导电性的第一反射膜； 第二反射膜，与所述第一反射膜相对； 透光性的绝缘膜，设置在所述第一反射膜的与所述第二反射膜相反侧；以及受光部，设置在所述绝缘膜的与所述第一反射膜相反侧，且在从所述第一反射膜和所述第二反射膜的膜厚方向观察的俯视观察中，设于所述第一反射膜、所述第二反射膜及所述绝缘膜互相重叠的区域内，接收由所述第一反射膜出射的光。
2.根据权利要求1所述的光学元件，其特征在于，还具备: 第一基板，具有设置有所述受光部及所述第一反射膜的第一面； 第二基板，与所述第一基板的所述第一面相对，并设置有所述第二反射膜；以及 电极，设置于所述第二基板上，并与所述第一反射膜的至少一部分相对。
3.根据权利要求1所述的光学元件，其特征在于， 在所述受光部的与所述绝缘膜相反侧、且在所述俯视观察中至少与所述受光部重叠的区域，设置有第三绝缘膜， 在所述第三绝缘膜的与所述受光部相反侧、且在所述俯视观察中至少与所述受光部重叠的区域，设置有第二导电膜。
4.根据权利要求1所述的光学元件，其特征在于， 在所述受光部的与所述绝缘膜相反侧、且在所述俯视观察中至少与所述受光部重叠的区域，设置有第三绝缘膜， 在所述第三绝缘膜的与所述受光部相反侧、且在所述俯视观察中至少与所述受光部重叠的区域，设置有第二导电膜， 所述第一反射膜和所述第二导电膜电连接。
5.根据权利要求3所述的光学元件，其特征在于， 所述第二导电膜由反射率比规定值小的低反射金属构成。
6.一种光学兀件，其特征在于，具备: 第一反射膜； 第二反射膜，与所述第一反射膜相对； 透光性的导电膜，设置在所述第一反射膜的与所述第二反射膜相反侧； 透光性的绝缘膜，设置在所述导电膜的与所述第一反射膜相反侧；以及受光部，设置在所述绝缘膜的与所述导电膜相反侧上，且在从所述第一反射膜和所述第二反射膜的膜厚方向观察的俯视观察中，设于所述第一反射膜、所述第二反射膜、所述导电膜及所述绝缘膜互相重叠的区域内，接收由所述第一反射膜出射的光。
7.根据权利要求6所述的光学元件，其特征在于， 在所述第一反射膜和所述导电膜之间设置有第二绝缘膜。
8.根据权利要求7所述的光学元件，其特征在于， 在所述受光部的与所述绝缘膜相反侧、且在所述俯视观察中至少与所述受光部重叠的区域，设置有第三绝缘膜， 在所述第三绝缘膜的与所述受光部相反侧、且在所述俯视观察中至少与所述受光部重叠的区域，设置有第二导电膜， 所述导电膜和所述第二导电膜电连接。
9.一种光学装置，其特征在于，具备: 权利要求1所述的光学元件、以及 容纳所述光学元件的框体。
10.一种光学装置，其特征在于，具备: 权利要求6所述的光学元件、以及 容纳所述光学元件的框体。
11.一种电子设备，其特征在于，具备:权利要求1所述的光学元件、以及控制所述光学元件的控制部。
12.一种电子设备，其特征在于，具备:权利要求6所述的光学元件、以及控制所述光学元件的控制部。
【专利摘要】本发明提供光学元件、光学装置以及电子设备。光学元件(5)包括：导电性的固定反射膜；与固定反射膜(54)相对的可动反射膜(55)；设置于固定反射膜(54)的与可动反射膜(55)相反侧上的透光性的第二绝缘膜(573)；以及设置在第二绝缘膜(573)的与固定反射膜(54)相反侧上、且在从固定反射膜(54)和可动反射膜(55)的膜厚方向观察的元件俯视观察中，位于固定反射膜(54)、可动反射膜(55)及第二绝缘膜(573)互相重叠的区域内，接收由固定反射膜(54)出射的光的受光部(58)。
【IPC分类】G02B26-00
【公开号】CN104570325
【申请号】CN201410545539
【发明人】久利龙平
【申请人】精工爱普生株式会社
【公开日】2015年4月29日
【申请日】2014年10月15日
【公告号】US20150116831