半导体结构及其制造方法与流程

文档序号:25653057发布日期:2021-06-29 21:09阅读:来源:国知局
技术总结
本发明提供了一种半导体结构及其制造方法。所述半导体结构包括衬底以及设置于所述衬底上的III


技术研发人员:王庆森 陈旷举 萧鹏展 刘汉英
受保护的技术使用者:新唐科技股份有限公司
技术研发日:2020.08.26
技术公布日:2021/6/28

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