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半导体结构及其制造方法与流程
文档序号:25653057
发布日期:2021-06-29 21:09
阅读:
来源:国知局
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半导体结构及其制造方法与流程
技术总结
本发明提供了一种半导体结构及其制造方法。所述半导体结构包括衬底以及设置于所述衬底上的III
技术研发人员:
王庆森 陈旷举 萧鹏展 刘汉英
受保护的技术使用者:
新唐科技股份有限公司
技术研发日:
2020.08.26
技术公布日:
2021/6/28
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