调度表生成装置、程序以及方法、基板处理装置以及方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及对基板处理的流程进行计划的调度表生成装置、调度表生成程序、具有该调度表生成装置的基板处理装置、调度表生成方法以及基板处理方法。
【背景技术】
[0002]具有多种对基板进行处理的基板处理装置。例如，专利文献I的基板处理装置，经由基板翻转单元以及基板载置部将对未处理基板以及已处理基板进行收集的分度器部、对基板进行清洗等处理的处理部连接。在分度器部以及处理部分别配置各部专用的搬运机械手。
[0003]在专利文献I中公开了具有独立被驱动来前进或后退的两个臂部的分度器部用搬运机械手(主机械手)。另外，在该两个臂部各自的顶端设置有基板保持手部，该基板保持手部能够保持两张基板，因此共计能够搬运4张基板。
[0004]现有技术文献
[0005]专利文献
[0006]专利文献1:JP特开2010-45214号公报
【发明内容】
[0007]发明要解决的问题
[0008]但是，在该文献中，没有公开在一系列的基板处理中主机械手在哪个时刻应该访问哪个处理单元。因此，在一系列的基板处理中，不能够确切地根据状况设定各基板的搬运调度表。
[0009]本发明是鉴于上述的问题而提出的，其目的在于提供一种在一系列的基板处理中，能够确切地根据状况设定各基板的搬运调度表，来提高基板处理装置的生产率的技术。
[0010]用于解决问题的手段
[0011]为了解决上述的问题，第I方式的调度表生成装置，用于生成基板处理装置的控制调度表，该控制调度表包括搬运处理的调度表，该搬运处理指，利用规定的搬运单元将被多个处理单元并行且在彼此独立的时刻处理过的多张基板向规定的搬运目的地搬运的处理，该调度表生成装置的特征在于，具有比较单元和选择性调度表生成单元，该比较单元针对在先基板和在后基板相互比较第I判定用时刻值和第2判定用时刻值，所述在先基板指，通过所述多个处理单元中的任意的一处理单元进行的处理先结束的基板，所述在后基板指，通过所述多个处理单元中的与所述一处理单元不同的处理单元进行的处理在所述在先基板的处理结束之后结束的基板，在将对所述在先基板进行处理的处理单元称为第I处理单元，将对所述在后基板进行处理的处理单元称为第2处理单元时，所述第I判定用时刻值为与依次搬出流程结束的时刻相对应的时刻值，所述依次搬出流程为，依次对所述在先基板和所述在后基板进行所述搬运处理的搬出时序，所述第2判定用时刻值为与一并搬出流程结束的时刻相对应的时刻值，所述一并搬出流程表为，使所述在先基板待机至通过所述第2处理单元对所述在后基板进行的处理结束为止，并在对所述在后基板的处理结束之后，对所述在先基板和所述在后基板一并进行所述搬运处理的搬出时序；在所述第I判定用时刻比所述第2判定用时刻早时，所述选择性调度表生成单元采用所述依次搬出流程来生成所述基板处理装置的调度表数据，在所述第2判定用时刻比所述第I判定用时刻早时，所述选择性调度表生成单元采用所述一并搬出流程来生成所述基板处理装置的调度表数据。
[0012]第2方式的调度表生成装置，在第I方式的调度表生成装置中，其特征在于，所述比较单元代替所述第I判定用时刻值采用表示第一特定时刻的时刻值作为所述第I判定用时刻值，该第一特定时刻指，比通过所述处理部对所述在先基板进行的处理结束的时刻延迟包含往返所需时间的时间的时刻，所述比较单元代替所述第2判定用时刻值采用表示第二特定时刻的时刻值作为所述第2判定用时刻值，该第二特定时刻指，通过所述处理部对所述在后基板进行的处理结束的时刻。
[0013]第3方式的调度表生成装置，在第2方式的调度表生成装置中，其特征在于，在通过所述多个处理单元进行的处理结束的基板被所述搬运单元保持为止的期间，存在需要规定的中间处理时间的中间处理，所述中间处理是不能对两张以上的基板同时执行，仅能够依次逐张地对基板执行的排他性处理，将通过所述第I处理单元对所述在先基板进行的处理结束的预计时刻作为第I处理结束预计时刻，将通过所述第2处理单元对所述在后基板进行的处理结束的预计时刻作为第2处理结束预计时刻，所述比较单元基于与所述第I处理结束预计时刻相比延迟包含所述中间处理时间和所述往返所需时间的时间的时刻，确定所述第I判定用时刻值，所述比较单元基于所述第2处理结束预计时刻，确定所述第2判定用时刻值。
[0014]第4方式的调度表生成装置，在第3方式的调度表生成装置中，其特征在于，所述搬运单元具有多个基板保持单元，所述多个基板保持单元能够分别从所述多个处理单元一次取出一张基板，所述中间处理是从所述多个基板保持单元所对应的处理单元取出基板的处理。
[0015]第5方式调度表生成装置，在第I至第4方式中任一项的调度表生成装置中，其特征在于，预先将所述调度表中的针对各基板的各单位工序的时间长度规定为时间区段，所述选择性调度表生成单元具有:确定候补确定单元，从基本调度表中以开始预计时刻早的顺序选择各区段作为确定候补区段，该基本调度表是，连续排列与针对所述在先基板和所述在后基板进行的一系列工序相对应的时间区段而生成的时序，确定单元，基于所述在先基板和所述在后基板各自的时间区段相互间的规定的配置条件，确定所述确定候补区段的配置时间段；所述确定单元基于所述第I判定用时刻值与所述第2判定用时刻值的比较结果，确定所述确定候补区段的配置时间段。
[0016]第6方式的调度表生成装置，在第I至第5方式的任一项的调度表生成装置中，其特征在于，所述搬运单元能够同时保持搬运最大保持数(Nmax)的基板，该最大保持数(Nmax)为3个以上的值，并且，所述选择性调度表生成单元，一边从应该搬运的多张基板中依次成对地选择所述在先基板和所述在后基板，一边针对所选择的所述在先基板和所述在后基板比较所述第I判定用时刻值和所述第2判定用时刻值，由此选择依次搬运流程、部分一并搬运流程和全部一并搬运流程中的一个流程，来生成所述基板处理装置的调度表数据，其中，所述依次搬运流程为依次搬运各基板的时序，所述部分一并搬运流程为一并搬运最大保持数(Nmax)的基板中的一部分基板的时序，所述全部一并搬运流程为一并搬运最大保持数(Nmax)的基板的时序。
[0017]第7方式的调度表生成装置，在第I至第6方式中的任一项的调度表生成装置中，其特征在于，所述多个处理单元各自进行的处理是，在该处理结束的基板从各处理单元被所述搬运单元搬出的时间点，基板变为干燥状态且非高温状态的处理。
[0018]第8方式的调度表生成装置，在第I至第7方式中的任一项的调度表生成装置中，其特征在于，在所述第I判定用时刻和所述第2判定用时刻为同一时刻时，所述选择性调度表生成单元采用所述依次搬出流程来生成所述基板处理装置的调度表数据。
[0019]第9方式的调度表生成装置，在第I至第7方式的任一项的调度表生成装置中，其特征在于，在所述第I判定用时刻和所述第2判定用时刻为同一时刻时，所述选择性调度表生成单元采用所述一并搬出流程来生成所述基板处理装置的调度表数据。
[0020]第10方式的调度表生成装置，在第I至第9方式的任一项的调度表生成装置中，其特征在于，所述规定的搬运目的地包括在铅垂方向上隔开规定距离设置的4个基板载置部，所述搬运单元具有对应于所述4个基板载置部在铅垂方向上隔开规定距离设置的4个基板保持单元，能够在水平方向上分别单独地驱动所述4个基板保持单元，由此能够使所述4个基板保持单元彼此单独地与所述4个基板保持单元分别对应的所述4个基板载置部交接基板。
[0021]第11方式的调度表生成装置，在第10方式的调度表生成装置中，其特征在于，所述搬运单元的所述4个基板保持单元中的位于上方的两个所述基板保持单元用于搬运实施了所述处理的已处理基板，位于下方的两个所述基板保持单元用于搬运实施所述处理前的未处理基板。
[0022]第12方式的调度表生成装置，在第11方式的调度表生成装置中，其特征在于，在所述搬运单元将两张所述已处理基板载置在所述4个基板载置部中的某两个基板载置部上时，通过位于所述上方的两个基板保持单元将该两张已处理基板载置在所述4个基板载置部中位于上方的两个所述基板载置部上。
[0023]第13方式的调度表生成装置，在第11方式的调度表生成装置中，其特征在于，在所述搬运单元将两张所述未处理基板载置在所述4个基板载置部中的某两个基板载置部上时，通过位于所述下方的两个基板保持单元将该两张未处理基板载置在所述4个基板载置部中位于下方的两个所述基板载置部上。
[0024]第14方式的调度表生成装置，用于生成基板处理装置的控制调度表，该控制调度表包括搬出处理的调度表，在将由两张以上基板构成的基板组分别称为基板集合时，该搬出处理指，利用规定的搬运单元将被包含在规定的处理部中的多个处理单元并行且在彼此独立的时刻进行处理过的多个基板集合向规定的搬出目的地搬出的处理，该调度表生成装置的特征在于，具有比较单元和选择性调度表生成单元，该比较单元针对在先基板集合和在后基板集合对第I判定用时刻值和第2判定用时刻值进行相互比较，所述在先基板集合指，通过所述处理部进行的处理先结束的基板集合，所述在后基板集合指，通过所述处理部进行的处理在所述在先基板的处理结束之后结束的基板集合，所述第I判定用时刻值为与依次搬出流程结束的时刻相对应的时刻值，所述依次搬出流程为，依次对所述在先基板集合和所述在后基板集合进行所述搬出处理的搬出时序，所述第2判定用时刻值为与一并搬出流程结束的时刻相对应的时刻值，所述一并搬出流程为，使所述在先基板集合待机至通过所述处理部对所述在后基板集合进行的处理结束为止，在所述在后基板集合的处理结束后，对所述在先基板集合和所述在后基板集合一并进行所述搬出处理的搬出时序；在所述第I判定用时刻比所述第2判定用时刻早时，所述选择性调度表生成单元一边采用所述依次搬出流程，一边生成所述基板处理装置的调度表数据，在所述第2判定用时刻比所述第I判定用时刻早时，所述选择性调度表生成单元一边采用所述一并搬出流程，一边生成所述基板处理装置的调度表数据。
[0025]第15方式的基板处理装置，具有第I至第14方式中的任一项的调度表生成装置，基于由所述调度表生成装置生成的所述调度表数据，进行调度表控制。
[0026]第16方式的基板处理装置，在第15方式的基板处理装置中，其特征在于，所述调度表生成装置，与基板处理装置中的一系列基板处理的进行并行地依次生成所述基板处理装置的在以后到来的时间段中的部分调度表数据，将该部分调度表数据依次赋予所述基板处理装置的调度表控制部。
[0027]第17方式的调度表生成程序，其特征在于，通过安装在计算机中并进行执行，使所述计算机实现权利要求1至14中任一项所述的调度表生成装置的功能。
[0028]第18方式的调度表生成方法，用于生成基板处理的控制调度表，该控制调度表包括利用规定的搬运单元将多张基板向规定的搬运目的地搬运的搬运处理的调度表，该多张基板是被多个处理单元并行且在彼此独立的时刻处理过的基板，其特征在于，包括针对在先基板和在后基板的第I确定工序、第2确定工序、比较工序、选择性调度表生成工序，所述在先基板指，通过所述多个处理单元中的任意的一处理单元进行的处理先结束的基板，所述在后基板指，通过所述多个处理单元中的与所述一处理单元不同的处理单元进行的处理在所述在先基板的处理结束之后结束的基板，将对所述在先基板进行处理的处理单元称为第I处理单元，将对所述在后基板进行处理的处理单元称为第2处理单元，在所述第I确定工序中，确定与依次搬出流程结束的时刻相对应的第I判定用时刻值，所述依次搬出流程为，依次对所述在先基板和所述在后基板进行所述搬运处理的搬出时序，在所述第2确定工序中，确定与一并搬出流程结束的时刻相对应的第2判定用时刻值，所述一并搬出流程为，使所述在先基板待机至通过所述第2处理单元对所述在后基板进行的处理结束为止，在对所述在后基板的处理结束后，对所述在先基板和所述在后基板一并进行所述搬运处理的搬出时序，在所述比较工序中，对所述第I判定用时刻值和所述第2判定用时刻值进行相互比较，在所述选择性调度表生成工序中，在所述第I判定用时刻比所述第2判定用时刻早时，采用所述依次搬出流程，来生成所述基板处理的调度表数据，在所述第2判定用时刻比所述第I判定用时刻早时，采用所述一并搬出流程，来生成所述基板处理的调度表数据。
[0029]第19方式的调度表生成方法，用于生成基板处理的控制调度表，该控制调度表包括利用规定的搬运单元将多个基板集合向规定的搬出目的地搬出的搬出处理的调度表，所述多个基板集合指，在将由两张以上基板构成的基板组分别称为基板集合时，被规定的处理部所包括的多个处理单元并行且在彼此独立的时刻进行处理过的基板集合，其特征在于，包括针对在先基板集合和在后基板集合的第I确定工序、第2确定工序、比较工序、选择性调度表生成工序，所述在先基板集合指，通过所述处理部进行的处理先结束的基板集合，所述在后基板集合指，通过所述处理部进行的处理在所述在先基板的处理结束之后结束的基板集合，在所述第I确定工序中，确定与依次搬出流程结束的时刻相对应的第I判定用时刻值，所述依次搬出流程指，依次对所述在先基板集合和所述在后基板集合进行所述搬出处理的搬出时序，在所述第2确定工序中，确定与一并搬出流程结束的时刻相对应的第2判定用时刻值，所述一并搬出流程指，使所述在先基板集合待机至通过所述处理部对所述在后基板集合进行的处理结束为止，并在对所述在后基板集合的处理结束后，对所述在先基板集合和所述在后基板集合一并进行所述搬出处理的搬出时序，在所述比较工序中，对所述第I判定用时刻值和所述第2判定用时刻值进行相互比较，在所述选择性调度表生成工序中，在所述第I判定用时刻比所述第2判定用时刻早时，采用所述依次搬出流程，来生成所述基板处理的调度表数据，在所述第2判定用时刻比所述第I判定用时刻早时，采用所述一并搬出流程，来生成所述基板处理的调度表数据。
[0030]第20方式的基板处理方法，在第18或者第19方式的调度表生成方法中，其特征在于，还包括基于由所述调度表生成方法生成的所述调度表数据执行所述基板处理的基板处理工序。
[0031]发明的效果
[0032]根据本发明的第I?第20方式，在判断为通过一并搬运流程搬出多张基板的动作比通过依次搬运流程早结束的情况下，采用一并搬运流程，由此提高基板处理装置的生产率。
[0033]尤其在第5方式中，从基本调度表中以开始预计时刻早的顺序选择各区段来确定配置时间段，并且在该过程中判断使用依次搬运流程还是使用一并搬运流程，由此能够系统地进行用于生成调度表数据的数据处理。
[0034]另外，根据第6方式，在使用能够同时保持3张以上的基板的搬运单元的情况下，能够系统地判断是采用依次搬运流程还是采用一并搬运流程。
[0035]另外，在第7方式中，即使因采用一并搬运流程而产生搬运单元保持基板进行待机的待机时间，也能够在对基板的处理质量影响小的情况下完成。
【附图说明】
[0036]图1是表示第I实施方式的基板处理装置I的整体结构的示意图。
[0037]图2是第I实施方式的处理区域3的侧视图。
[0038]图3是第I实施方式的处理区域3的侧视图。
[0039]图4是表示第I实施方式的分度器机械手IR的结构的示意图。
[0040]图5是表示第I实施方式的清洗处理单元的结构的示意图。
[0041]图6是表示第I实施方式的翻转处理单元RT的结构的示意图。
[0042]图7是表示第I实施方式的中央机械手CR的结构的示意图。
[0043]图8是第I实施方式的中转部50的侧视图。
[0044]图9是第I实施方式的中转部50的俯视图。
[0045]图10是第I实施方式的基板处理装置I的系统框图。
[0046]图11是表示第I实施方式的控制部60所具有的结构的框图。
[0047]图12是说明第I实施方式的中央机械手CR和清洗处理单元中的基板交接动作的概念图。
[0048]图13是说明第I实施方式的中央机械手CR和清洗处理单元中的基板交接动作的概念图。
[0049]图14是说明第I实施方式的中央机械手CR和中转部50中的基板交接动作的概念图。
[0050]图15是表示生成第I实施方式的调度表时的计划逻辑的流程图。
[0051]图16是表示通过第I实施方式的计划逻辑生成的调度表的例子的图。
[0052]图17是表示通过第I实施方式的计划逻辑生成的调度表的例子的图。
[0053]图18是表示通过第I实施方式的计划逻辑生成的调度表的例子的图。
[0054]图19是从基本调度表发生的变化的说明图。
[0055]图20是以一览便的形式表示在图21至图23中使用的区段的标记的意思的图。
[0056]图21是表示基本调度表的例子的图。
[0057]图22是表示利用一并搬运流程的调度表的例子的图。
[0058]图23是表示利用依次搬运流程的调度表的例子的图。
[0059]图24是表示第2实施方式的调度表生成过程的流程图。
[0060]图25是说明3个以上的基板的基本调度表的图。
[0061]图26是说明在取出区段为排他的情况下由第2实施方式生成的调度表的图。
[0062]图27是说明在取出区段为非排他的情况下由第2实施方式生成的调度表的图。
[0063]图28是生成3个以上的基板的一并搬运流程的过程的说明图。
[0064]图29是表示采用3张一并搬运流程的情况下的例子的图。
[0065]图30是表示采用前两张一并搬运流程的情况下的例子的图。
[0066]图31是表示采用依次搬运流程的情况下的例子的图。
【具体实施方式】
[0067]下面，参照附图详细说明本发明的实施方式。
[0068](第I实施方式)
[0069]< 1.基板处理装置I的概略结构>
[0070]图1是表示本发明的第I实施方式的基板处理装置I的布局的俯视图。另外，图2是从图1中的A-A截面向箭头a方向观察的基板处理装置I的侧视图。另外，图3是从图1中的A-A截面向箭头b方向观察的基板处理装置I的侧视图。此外，在本说明书中附加的图中，X方向以及Y方向是限定水平面的二维坐标轴，Z方向限定与XY面垂直的铅垂方向。
[0071]该基板处理装置I是对半导体晶片等基板W逐张进行处理的单张式的基板清洗装置。如图1所示，基板处理装置I具有分度器区域2和与该分度器区域2结合的处理区域3，在分度器区域2和处理区域3之间的边界部分配置有中转部50 (PASS)，该中转部50用于在分度器机械手IR和中央机械手CR之间交接基板W。另外，在基板处理装置I中具有用于对基板处理装置I中的各装置的动作进行控制的控制部60。处理区域3是进行后述的擦洗清洗处理等基板处理的区域，基板处理装置I整体为单张式的基板清洗装置。
[0072]在该第I实施方式的存储介质处理装置I中，在控制部60中预先存储有用于以数字数据的形式生成对各基板进行处理和搬运的调度表的计算机程序。并且，控制部60的计算机执行该计算机程序，来实现作为该控制部60的一个功能的调度表生成装置。详细内容后面描述。
[0073]< 1.1分度器区域>
[0074]分度器区域2是用于将从基板处理装置I的外部接受的基板W(未处理基板W)交付给处理区域3，且将从处理区域3接受的基板W(已处理基板W)搬出至基板处理装置I的外部的区域。
[0075]分度器区域2具有:搬运器保持部4，能够保持搬运器C，该搬运器C能够容置多张基板W ;作为基板的搬运单元的分度器机械手IR ;使分度器机械手IR水平移动的分度器机械手移动机构5(以下称为“IR移动机构5”)。
[0076]搬运器C例如使多张基板W在上下方向上隔开规定间隔地将多张基板W保持为水平状态，以使上表面(两个主面中的形成电子器件的主面)朝上的状态保持多张基板W。多个搬运器C以沿着规定的排列方向(在第I实施方式中为Y方向)排列的状态保持在搬运器保持部4上。IR移动机构5使分度器机械手IR沿着Y方向水平移动。
[0077]通过OHT (Overhead Hoist Transfer:架式升降机)、AGV (Automated GuidedVehicle:自动导向车)等，将容纳有未处理基板W的搬运器C从装置外部搬入载置在各搬运器保持部4上。另外，将在处理区域3进行完擦洗清洗处理等基板处理的已处理基板W从中央机械手CR经由中转部50交接给分度器机械手IR，然后再次容纳至搬运器保持部4上所载置的搬运器C中。通过OHT等将容纳已处理基板W的搬运器C搬出至装置外部。艮P，搬运器保持部4发挥收集未处理基板W以及已处理基板W的基板收集部的功能。
[0078]说明本实施方式的IR移动机构5的结构。在分度器机械手IR上固定设置有可动台，该可动台和与搬运器C的排列方向平行且沿着Y方向延伸的滚珠丝杠螺合，并且相对于导轨自由滑动。由此，在通过旋转马达使滚珠丝杠旋转时，与可动台固定设置的整个分度器机械手IR沿着Y轴方向水平移动(都省略图示)。