ta24。
[0292]因此，在图18的情况中，如图18中的(b)所示，生成包含依次搬运流程的调度表数据SD (选择性调度表生成工序)。
[0293]< 3.5避免调度表生成过程上的时间冲突>
[0294]如上所述，在图15的步骤ST4、ST5中，作为避免与排他性区段(取出区段)冲突的时间区段，仅包含其它基板的取出区段，不包括与其它基板的搬运区段的时间性冲突。但是，在图15的整个流程中避免取出区段和搬运区段的时间性冲突。
[0295]即，如图19所示，由于第I基板的搬运区段B13始终处于第I基板的取出区段B12以后，所以在第I基板的取出区段B12的时间段与第2基板的取出区段B22的时间段之间存在重叠的情况下，第2基板的清洗处理区段B21的结束预计时刻Dt位于第I基板的搬运区段B13的结束预计时刻Ct之前。另外，在第2基板的取出区段B22变为确定候补的阶段，如箭头K1，在时间上使取出区段B22错开而变为取出区段Ba22，并且第2基板的搬运区段B23也相应于此如箭头K2，在时间上错开而成为搬运区段Ba23，来避免与第I基板的取出区段B12重叠。
[0296]然后，此后在第I基板的搬运区段B13变为确定候补时，该搬运区段B13以与按照箭头K2错开后的第2基板的搬运区段Ba23的时间段一致的方式错开而成为搬运区段Bal3，在该阶段消除第2基板的取出区段Ba22与第I基板的搬运区段Bal3的重叠。因此，在图15的步骤ST4、ST5中，只要仅避免排他性区段彼此的冲突即可。
[0297]在上述的图16中的(a)的情况下，在基本调度表中，第2基板的取出区段B5不仅与第I基板的取出区段B2重合，还与第I基板的搬运区段B3重合，通过在图15的流程中进行数据处理，最终如图16中的(b)那样，解除所有的禁止状态。
[0298]< 3.6 一并搬运判别式不成立的情况下的依次搬运流程的选择>
[0299]在此，返回图18，将依次搬运流程和一并搬运流程进行比较，来进一步考察一并搬运判别式(式2)不成立的情况。
[0300]在图18的情况下，在在后基板W2的清洗处理结束后一并搬运两张基板的情况下的两张基板整体的移送结束时刻At与逐张依次搬运基板W的情况下的移送结束时刻Bt为同一时刻，其在基本调度表中与在后基板W2的清洗处理结束的时刻t24—致。
[0301]因此，在这样的情况下，不论是依次搬运流程还是一并搬运流程，两张基板W1、W2整体的全部工序的结束时刻相同，仅着眼于这一点，不论是否满足式2的一并搬运判别式的条件，可以一律采用一并搬运流程。
[0302]但是，若不论一并搬运判别式是否成立都一律采用一并搬运流程，则保持在先基板Wl的状态下的中央机械手CR的待机时间变长，因此中央机械手CR的活动时间变短，而且由于在先基板Wl不前进至下一工序，所以因此产生延迟。
[0303]S卩，若仅着眼于两张基板W1、W2整体的移送结束时刻的不同，则可以将所有的情况都采用一并搬运流程，但是若不仅仅考虑关注的清洗处理部分还考虑其它处理、搬运，以及其它基板的处理的整体的生产率，则在不满足一并搬运判别式时优选依次搬运流程。
[0304]因此，在不满足一并搬运判别式时，不利用一并搬运流程，而采用利用了依次搬运流程的调度表。
[0305]< 3.7基板处理装置I整体的调度表生成>
[0306]以下，参照图20?图23，在通过搬运器C向基板处理装置I搬入的基板的上表面在基板处理装置I内进行清洗处理，并且该基板再次返回搬运器C的过程中，着重说明两张基板W1、W2的调度表的相互关系。在这些图中的图20中，示出在图21?图23的时序调度表图中使用的标记的意思。
[0307]图21中的(a)表示基板Wl中基本调度表，另外图21中的(b)表示基板W2中的基本调度表。因此，这些是单独设计的基本调度表，基板Wl、W2中的哪个为在先基板哪个为在后基板这样的区别在本阶段还没有确定。
[0308]在图21中的(a)中，若着眼于与从搬运器C至清洗处理单元SSl的移动相当的时间区段Rl?R4结束的时间点之后的时间段，则首先，在清洗处理区段BI中，通过清洗处理单元SSl对基板Wl的上表面进行清洗处理。然后，在取出区段B2，结束清洗的基板Wl立即被中央机械手CR取出(取出区段B2)，且搬运至中转部50 (PASS)。
[0309]中央机械手CR进行基板Wl向中转部50 (PASS)的搬运(子区段RA)和交接(子区段RB)，但是与之后中央机械手CR返回处理区域3的移动过程(子区段RC) —起，构成基板Wl的搬运区段B3。图21中的(a)其它的区段R5、R6为与基板Wl移动至搬运器C相对应的区段。
[0310]图21中的(b)的其它基板W2也相同，分别配置区段Rl?R4，并且与清洗处理区段B4、取出区段B5以及搬运区段B6对应的时间段存在于其中。以后的区段R5、R6的时间配置也与基板Wl的情况相同。
[0311]图22是表示基于图21所示的两张基板Wl、W2的上表面清洗处理处理工艺，执行图15所示的本实施方式的调度表生成程序Pl的计划逻辑，且采用一并搬运流程生成的调度表的时序图。这是根据图21中的(b)的基板W2的清洗处理区段B4的结束预计时刻Dt比图21中的(a)的基板Wl的搬运区段B3的结束预计时刻Ct早的时间关系将图21中的(a)和图21中的(b)的各自的单位基本调度表进行组合而决定的调度表。
[0312]如图22所示，直到区段Rl?R3为止，将基板Wl、W2的对应区段计划为相同的时间段。但是，区段R4是包含从中央机械手CR向清洗处理单元SS搬入基板W的搬入处理的区段，由于存在仅能够从中央机械手CR向各清洗处理单元逐张地搬入基板的制约，所以，首先在将基板Wl (在先基板)搬入清洗处理单元SSl，然后将基板W2(在后基板)搬入另外的清洗处理单元SS2。
[0313]因此，在基板W2的搬入和基板Wl的搬入之间，对应于时间差产生待机时间段Tl (待机区段)。另外，伴随于此，在后基板W2的清洗处理区段B4位于比在先基板Wl的清洗处理区段BI滞后的时刻侧。
[0314]在在先基板Wl的清洗处理(清洗处理区段BI)结束的时刻tl2，在后基板W2的清洗处理(清洗处理区段B4)仍然处于继续中。因此，按照图15的流程，中央机械手CR保持在先基板Wl进行待机(待机时间T2)，直到在后基板W2的清洗处理区段B4结束，且通过中央机械手CR从清洗处理单元SS2取出在后基板W2。
[0315]另外，若变为基板Wl、W2双方被中央机械手CR保持的状态，则中央机械手CR保持这些基板Wl、W2并移动至中转部50 (PASS)(前往运动)，将基板Wl、W2同时载置在中转部50。另外，为了进行下一张基板的处理返回处理区域3 (返回运动)。
[0316]这样，在本例子中，由于满足一并搬运判别式(式2)，所以不采用依次搬运调度表而采用一并搬运调度表。
[0317]图23是表示在各基板W1、W2的清洗处理区段B1、B3的结束时刻tll、t21与图22相同时，如果采用依次搬运流程的情况下的整体的调度表。
[0318]此时，依次单独搬运各基板Wl、W2。中央机械手CR不等待在后基板W2的清洗处理区段B4结束而保持在先基板Wl将在先基板Wl向中转部50 (PASS)搬运，一旦返回处理区域3后，取出在后基板W2并且搬运至中转部50。
[0319]在图23的依次搬运流程的情况下，清洗处理后的在先基板Wl返回搬运器C的时刻tel比在利用图22的一并搬运流程的情况下清洗处理后的基板Wl、W2根据调度表返回搬运器C的时刻teO早，但是，在依次搬运流程中在后基板W2返回搬运器C的时刻te2比采用一并搬运流程的情况下在后基板W2返回搬运器C的时刻teO晚。
[0320]因此，在满足一并搬运判别式(式2)时，如图22所示对两张基板W1、W2双方整体的搬运采用一并搬运流程，由此，与采用图23的依次搬运流程的情况相比，提高了生产率。
[0321]< 3.8本实施方式的调度表生成的效果>
[0322]如以上说明，在执行本发明第I实施方式的计划逻辑(图15)时，在将时刻Ct确定为第I判定用时刻值，将时刻Dt确定为第2判定用时刻后(第I以及第2确定工序)，将它们相互进行比较(比较工序)，在作为第2判定用时刻的时刻Dt比作为第I判定用时刻的时刻Ct早时，即满足一并搬运判别式(式2)时，生成采用一并搬出流程的基板处理的调度表数据SD (选择性调度表生成工序)。然后，基于该调度表数据SD执行基板W的清洗处理以及搬运处理(基板处理工序)。
[0323]本发明的第I实施方式的调度表生成程序Pl的计划逻辑与一律采用依次搬出流程的计划逻辑，或一律采用一并搬出流程的计划逻辑不同，而是在依次搬出流程和一并搬出流程中，在判断为采用一并搬运流程的多张基板整体的搬运结束预计时刻早的情况下采用一并搬出流程的计划逻辑，因此能够生成时间效率高的调度表。结果，提高基板处理装置I的生产率(结果I)。
[0324]另外，在依次搬出调度表和一并搬出调度表中，在多张基板整体的搬运结束预计时刻一致的情况下，根据本发明的第I实施方式的计划逻辑生成的调度表采用依次搬运流程(在先基板的搬运结束时刻早)。此时，与在先基板的搬运区段采用一并搬出流程的情况相比更早地进行计划，因此能够在搬运目的地提早开始对该在先基板进行处理。结果，提高基板处理装置I的生产率(结果2)。
[0325](第2实施方式)
[0326]说明本发明的第2实施方式。此外，在第2实施方式中，对于与第I实施方式的各部件相同的部件标注相同的附图标记进行说明。另外，对于与第I实施方式相同的结构或者动作省略重复说明。
[0327]第2实施方式的基板处理装置I的基本结构与第I实施方式的基板处理装置I相同。
[0328]另一方面，第2实施方式和第I实施方式之间的不同点在于，第2实施方式的分度器机械手IR以及中央机械手CR的各手部不具有第I实施方式具有的与基板保持相关的限制，即不区分未处理基板和已处理基板的手部。
[0329]如上所述，在第I实施方式的分度器机械手IR以及中央机械手CR的各手部中，被保持的基板W分为未处理基板和已处理基板。由于这样对各手部的使用设置限制，所以未处理基板用的手部(手部7b、7c，手部15b、16b)不保持已处理基板W。已处理基板用的手部(手部6b、6c，以及手部13b、14b)也相问。
[0330]但是，对于第2实施方式的搬运机械手(分度器机械手IR、中央机械手CR)的各手部不设置与这样的基板保持相关的限制。因此，两搬运机械手能够搬运与各自的手部的数量相等的最多4张基板。此外，与第I实施方式相同，在计划执行中央机械手CR从清洗处理单元SS、SSR取出基板的取出区段的时间段不能够配置在后基板的取出区段。
[0331]<4.调度表生成流程>
[0332]图24是表示对应于本第2实施方式，在利用能够同时保持基板的手部存在Nmax个(Nmax >2)且能够同时保持并搬运最多Nmax张基板的中央机械手CR的情况下的调度表生成程序中，与图15的不同部分的流程图。该图24所示的步骤组代替图15的步骤ST6?ST7。由于第I实施方式相当于Nmax = 2的情况，所以在图24的流程中，若Nmax = 2，则图24的流程还能够用于第I实施方式的装置。
[0333]另外，在图25中，作为说明计划一并搬运3张以上基板的情况下的一般的处理方法的例子，示出了包含6张基板的基本调度表。在本例子中，6张基板(第I基板?第6基板)依次结束清洗处理，但是第2基板?第6基板各自的清洗处理区段的结束预计时刻Dt分别早于第I基板?第5基板的搬运区段的结束预计时刻Ct。即，连锁地满足一并搬运判别式(Dt < Ct)。
[0334]另外，在第2实施方式中，假设中央机械手CR最多能够保持4张基板(Nmax = 4)。在这样的情况下，根据以下详细描述的数据处理得到一并搬运调度表(图26)，就一并搬运调度表而言，即使在第I基板的清洗处理和取出处理结束，也不移动至中央机械手CR也向中转部50搬运的步骤，而在处理区域3中待机，等待第2基板?第4基板各自的清洗处理结束后，将这些基板从各清洗处理单元取出，与第I基板一并搬运。
[0335]如图25所示，第5基板在与第4基板之间也满足一并搬运判别式，但是如图26所示，第5基板不与第I基板?第4基板一并搬运。这是因为，中央机械手CR能够保持的基板的最大值为4张。
[0336]在以上的准备基础上，说明图24的各步骤。
[0337]在图24中，在步骤STll中，将在先基板作为确定候补，判定其在后基板的搬运区段的结束预计时刻Dt是否比在先基板的清洗处理区段的结束预计时刻Ct早。这是与图15的步骤ST6内容大致相同的判定。
[0338]在步骤STll为“是”的情况下，在下一个步骤ST12中，参照一并搬运的张数值N。该一并搬运的张数值N是表示在该时间点计划的一并搬运的张数的整数值，其初始值为“ I ”。将第I基板作为确定对象的时间点的一并搬运的张数值N仍然为“I”。
[0339]在下一步骤ST13中，使确定候补和“已经与确定候补同步的搬运区段”(以下称为“已同步区段”)的时间段延迟至在后基板的搬运区段的时间段。但是，在第I基板为确定候补的阶段，不存在“已同步区段”。
[0340]图28概念性地表示该状态。图28中的(a)表示针对第I基板的步骤ST13执行前，图28中的(b)表示步骤ST13执行后。通过步骤ST13，第I基板的搬运区段B13向之后的时间错开，来与第2基板的搬运区段B23的时间段一致。但是，在该图28中，为了易于理解，仅表示了搬运区段的时间关系，在图中没有示出取出区段的时间错开的影响。
[0341]在图24的下一步骤ST14中，使一并搬运张数值N增加“I”。因此，在图24的针对第I基板的过程结束的时间点，N = 2。
[0342]在第2基板的搬运区段B23成为确定候补时，在图24的过程的步骤S13中，作为“已同步区段”存在第I基板的搬运区段B13。因此，如图28中的(c)所示，不仅在该时间点的确定候补(搬运区段B23)，而且作为“已同步区段”的搬运区段B13也向之后的时刻错开至第3基板的搬运区段B33的时间段。
[0343]基本调度表的各时间区段依次成为确定候补，由此反复执行图24的过程，在判断一并搬运张数值N与最大保持数Nmax相同时，从步骤STll转到步骤ST15，来暂时切断同步的连锁动作。具体地说，直到该时间点，确定将时间向之后的时刻错开而同步的多张基板的搬运区段的时间段。
[0344]另外，即使在步骤STll中不满足条件Dt < Ct时，也在步骤ST15中，切断同步连锁动作。
[0345]换而言之，将执行步骤ST13和步骤ST14的确定候补的时刻，直接作为假设的确定时刻，在步骤ST15中切断同步连锁时首次确定。
[0346]另一方面，在从步骤STll或者步骤ST12向步骤ST15前进的路径连续且多次被执行的部分中，不形成一并搬运流程，该部分为依次搬运流程。
[0347]在此，概括说明了图24的过程，但是在第2实施方式中，图15的F = O以及F =I的情况下的过程在它们成为确定候补的阶段被执行。
[0348]此外，在第2实施方式中，与第I实施方式相同，由于中央机械手CR从清洗处理单元SS、SSR取出基板的“取出区段”为排他性区段，所以需要使与第I实施方式相同的用于避免时间重复的时间错开(图15中的ST4、ST5)。图26是考虑这些条件基于图15以及图24所示的过程生成的调度表。
[0349]其中，对于不同基板的取出区段，在中央机械手CR的多个手部同时独立访问多个清洗处理单元来取出基板的情况下，可以不用避免取出区段相互间的时间重复。在这样的机械结构的情况，在图27中作为比较例示出基于图15以及图24的过程生成的调度表。因此，在这样的情况下，取出区段不是排他性区段。
[0350]另一方面，在如该比较例那样使用能够同时取出多张基板的中央机械手CR的情况下，在图15的步骤ST4、ST5中追加了如下的操作，即，使“取出区段”以不与针对对其它基板确定的“搬运区段”重叠的方式将时间向之后的时间错开。即，参照图19，根据在第I实施方式中最多一并搬运两张基板的情况，说明自动避免该重复的理由，在第2实施方式中，假设一并搬运的基板张数包括3张以上的通常情况。因此，不限于这样的自动避免干涉，优选积极地避免取出区段与搬运区段重复。
[0351]不论哪种情况，第I基板?第4基板的搬运区段B13?B43都集中在同一时间段，形成通过中央机械手CR —并搬运这些基板的调度表。同步的连锁动作至此暂时被切断，第5基板和第6基板的搬运区段B53、B63被集中在新的一并搬运流程中，形成新的同步连锁动作。各基板的清洗处理区段Bll?B61的时间配置也相同。
[0352]在该第2实施方式中，在不满足条件Dt < Ct的部分也采用依次搬运流程。
[0353]<第2实施方式的调度表的变形例>
[0354]以下，说明在通过第2实施方式的中央机械手CR进行3张基板的搬运处理的情况下的调度表生成过程中的将一并搬运和依次搬运组合而成的变形，以及通过图24的流程形成该变形的功能的情况。
[0355]图29?图31是针对各张基板用区段表示对3张基板Wl?W3在彼此独立的时刻进行清洗处理后，通过中央机械手CR进行搬出处理以及搬运处理的状态的时序图。图29的各部分的图示内容的区别如下，对于图30以及图31，部分(a)?(f)的相互区别与图29相同。另外，图29?图31所示的各区段BI?B9与图16?图18所示的各区段BI?B6相同。即，在图29?图31中，区段B1、B4、B7表示清洗处理区段，区段B2、B5、B8表示取出区段，区段B3、B6、B9表示搬运区段。
[0356]?图29中的(a)表示3张基板Wl?W3的基本调度表。
[0357]?图29中的(b)表示针对图29中的(a)的基本调度表利用图15以及图24所示的计划逻辑完成的调度表。以下的图29中的(c)?图29中的(f)表示作为该图29中的(b)的调度表的候补的调度表的种类。
[0358]?图29中的(C)表示针对图29中的(a)的基本调度表，使用采用对所有的基板Wl?W3依次进行搬运的依次搬出流程(“整体依次流程”)的计划逻辑而完成的调度表。
[0359]?图29中的(d)表示针对图29中的(a)的基本调度表，使用采用仅对两张基板W1、W2—并进行搬运且对基板W3单独进行搬运的搬出流程(“前两张一并搬运流程”)的计划逻辑而完成的调度表。
[0360]?图29中的(e)表示针对图29中的(a)的基本调度表，使用采用单独搬运一张基板Wl且仅对两张基板W2、W3进行一并搬运的搬出流程(“后两张一并搬运流程”)的计划逻辑而完成的调度表。
[0361]?图29中的(f)表示针对图29中的(a)的基本调度表，使用采用对3张基板Wl?W3—并搬出的搬出流程(“整体一并搬运流程”)的计划逻辑而完成的调度表。
[0362][各调度表的内容]
[0363].图29的调度表
[0364]在图29中，由于3张基板Wl?W3的所有组合满足一并搬运判别式(式2)，所以得到对这些3张基板Wl?W3的一并搬运进行计划的调度表。
[0365].图30的调度表
[0366]在图30中，虽然在在先基板Wl和第I在后基板之间满足一并搬运判别式，但是在第I在后基板W2和第2在后基板W3之间为Ct < Dt,不满足一并搬运判别式。
[0367]因此，生成“前两张一并搬运流程”的调度表。
[0368]?图31的调度表
[0369]在图31中，基板Wl?W3中某两张基板的组合不满足一并搬运判别式。因此，生成“整体依次流程”的调度表。
[0370]<第2实施方式的调度表生成程序Pl的效果>
[0371]如上所说明的，在搬运机械手能够搬运3张以上基板的情况下，通过与图15的流程组合执行图24的流程，一边依次从多张基板中选择在先基板和在后基板对，一边对选择的在先基板和在后基板，进行第I判定用时刻值和第2判定用时刻值的比较动作(步骤ST11)。
[0372]另外，由此，判定是使确定候补的在先基板的搬运区段与在后基板的搬运区段同步(步骤ST13)，还是不与在后基板的搬运区段同步(步骤ST15、ST3)。
[0373]通过这样的反复操作，
[0374]a)在持续“非同步”直至最大保持数Nmax为止的情况下，构筑作为对各基板依次搬运的顺序的依次搬运流程，
[0375]b)在比最大保持数Nmax少的数量的基板产生“同步”的情况下，构筑对最大保持数Nmax的基板中的一部分一并搬运的部分一并搬运流程，
[0376]c)在连续形成与最大保持数Nmax相当的数量的基板的“同步”的情况下，构筑作为对最大保持数Nmax的基板一并搬运的