基础，并进行调整以防止基板相互间的搬运流程干涉等，沿着时间轴再配置一系列基板，来组合形成综合调度表。即，就在先的基板和在后的基板各自的时间区段而言，一边考虑它们的相互间的规定的配置条件，一边确定它们的配置时间段。
[0219]另一方面，在图16中的(b)中示出以图16中的(a)的基本调度表为基础，利用图15所示的本发明的第I实施方式的计划逻辑而完成的作为结果的调度表。
[0220]另外，在图16中的(C)中，示出在决定图16中的(b)的完成调度表的过程中假设的I个调度表即利用依次搬运流程的调度表。
[0221]另外，在图16中的(d)中，示出在决定图16中的(b)的完成调度表的过程中假设的另一个调度表即利用一并搬运流程的调度表。
[0222]以下的图17中的(a)?图17中的(d)的4个部分，以及图18中的(a)?图18中的(d)的4个部分的相互关系与以上的图16的情况相同。
[0223][本发明的第I实施方式的调度表生成过程]
[0224]图16中的(a)表示基板Wl和W2的清洗处理区段的开始预计时刻tll、t21存在时间差，并且与基板W2的各工序对应的时间区段B4、B5、B6比基板Wl的各时间区段B1、B2、B3延迟该时间差AT = (t21-tll)的情况。这样的时间差ΔΤ因基板处理装置I的各种制约而产生。例如，因一台中央机械手CR能够同时搬运的基板的数量和清洗处理单元的设置数量存在限度，不能够进行完全并列处理(完全的同时处理)，而产生时间差AT。另夕卜，可能因各处理单元执行的基板处理内容不同，而产生时间差AT。
[0225]在图16及以后的各图中，假设基板Wl在清洗处理单元SSl中被清洗，基板W2在另外的清洗处理单元SS2(在铅垂方向的下方与清洗处理单元SSl相邻的另外的清洗处理单元)中被清洗，基板Wl、W2中的清洗处理先结束的基板为基板W1，基板Wl为在先基板，另一基板W2为在后基板W2。
[0226]在此研宄图16中的(a)的区段BI?B6的详细内容，来为说明基于基本调度表得到完成调度表的程序做准备。
[0227]区段BI以及B4是分别包括在清洗处理单元SS1、SS2中进行的清洗处理的区段(清洗处理区段)。因此，由于它们在时间上能够并存，所以在计划执行在先基板Wl的清洗处理区段BI的时间段中能够计划执行在后基板W2的区段B4?B6。同样，在计划执行在后基板W2的清洗处理区段B4的时间段，能够计划执行在先基板Wl的区段BI?B3。
[0228]区段B2以及B5是包括通过中央机械手CR从清洗处理单元SS1、SS2取出基板Wl、W2的取出工序的区段(取出区段)。不能通过具有图4的结构的中央机械手CR从多个处理单元同时取出多张基板，另外，在取出基板的取出动作的期间，中央机械手CR不能运动，因此，在计划执行在先基板Wl的取出区段B2的时间段，不计划执行在后基板W2的包括中央机械手CR的动作的区段B5、B6。同样，在计划执行在后基板W2的取出区段B5的时间段，不计划执行在后基板W2的需要中央机械手CR的动作的区段B2、B3。
[0229]区段B3以及B6是包括中央机械手CR向中转部50(PASS1、PASS2)搬运基板W1、W2的工序以及中央机械手CR向中转部50交付基板W1、W2的工序的区段(搬运区段)。因此，在计划执行在先基板Wl的搬运区段B3的时间段，不计划执行在后基板W2的包含从清洗处理单元SS取出的取出处理的区段B5。另一方面，能够在与在先基板Wl的搬运区段B3相同的时间段，计划执行在后基板W2的包含与在先基板Wl的搬运区段B3相同地向中转部50搬运的搬运工序的区段B6(中央机械手CR能够向中转部50同时搬运两张已处理基板Wl、W2。另外能够同时将基板Wl、W2交付至中转部50的基板载置部PASSl以及PASS2，只要在基板载置部PASS3以及PASS4上载置未处理基板W，能够同时接受这些未处理基板W)。关于在后基板W2的搬运区段B6也相同，在计划执行搬运区段B6的时间段，不计划执行包含从清洗处理单元SS取出基板的取出工序的取出区段B2。另一方面，在与在先基板Wl的搬运区段B6相同的时间段，能够计划执行包含与搬运区段B6相同地向中转部50搬运的搬运工序的搬运区段B3(能够同时搬运基板Wl和W2。另外，在中央机械手CR和中转部50之间，能够分别同时执行两张基板的交付以及两张基板的接受)。
[0230]此外，如上所述，在此，搬运区段B3、B6不仅是指从处理区域3 (相当于本发明中的“处理部”)向中转部50搬运基板的的时间段，而且是指中央机械手CR向中转部50载置基板的的时间段，在需要的情况下，接受未处理基板，并且再次返回处理区域3的时间段。
[0231]图17中的(a)以及图18中的(a)的基板Wl、W2的各个工序的时间关系与图16中的(a)不同，但是各自的区段BI?B6的含义与图16中的(a)相同。
[0232]以下，假设对两张基板W1、W2分别赋予图16中的(a)、图17中的(a)以及图18中的(a)的3种基本调度表，来说明控制部60利用图15所示的计划逻辑来完成调度表的程序。
[0233]对应于本发明的特征，在生成在先基板Wl和在后基板W2的调度表的过程中，分别比较时刻At和时刻Bt (图16中的(d)、图17中的(d)、图18中的(d))这两个时间点，
[0234]I)时刻At是在按照时间依次进行在先基板Wl和在后基板W2的搬出处理的“依次搬出流程”(图16中的(C)、图17中的(C)、图18中的(c))中，两张基板Wl、W2的基板搬运动作结束的时刻；
[0235]2)时刻Bt是在处理区域3使在先基板Wl待机至在后基板W2的清洗处理结束，在在后基板W2的清洗处理结束后，一并进行在先基板Wl和在后基板W2的搬出处理的“一并搬出流程”结束的时刻。
[0236]Bt < At......(式 I)
[0237]S卩，在判断一并搬运流程比依次搬运流程提前结束的情况下，生成优先采用一并搬出流程的调度表，由此能够提高两张基板Wl、W2的搬出效率。
[0238]进一步考虑如下情况，即，不受搬运单元(中央机械手CR)同时搬运的基板的张数影响，搬运单元在处理区域3和中转部50之间的往返搬运时间Tc实质相同的情况，和搬运单元(中央机械手CR)不论访问哪个处理单元，搬运单元在处理区域3和中转部50之间的往返搬运时间Tc被视为实质相同的情况。另外，这样，在满足搬运单元在处理区域3和中转部50之间的往返搬运时间Tc实质形同的条件(“往返搬运时间规定条件”)时，在各个基本调度表中，通过将I)在先基板Wl的搬运区段B3的结束时刻Ct与2)在后基板W2的清洗处理区段B4的结束时刻Dt进行比较，也能够判断一并搬出流程和依次搬出流程哪个效率高。
[0239]其原因为，在满足下式2时时，如图16中的(d)可知，一并搬运流程中的取出区段B5移动至紧邻取出区段B2之后的位置，由此，时刻Bt与时刻At之间的关系为下式3，而时刻At与时刻Bt之间的关系为下式4，式4减去式3为式5，因此得到式6，即，满足式I。
[0240]Dt < Ct......(式 2)
[0241]Bt = tl2+2XTb+Tc......(式 3)
[0242]At = tl2+2 X (Tb+Tc)......(式 4)，
[0243]At-Bt = Tc......(式 5)
[0244]At = Bt+Tc > Bt......(式 6)
[0245]因此，在先基板Wl的搬出区段的结束时刻Ct作为在依次搬出流程中两张基板Wl、W2全都移送结束的时刻At的代理指标发挥功能；在后基板的清洗处理区段的结束时刻Dt作为在一并搬出流程中两张基板Wl、W2全部移送结束的时刻Bt的代理指标发挥功能。
[0246]另外，在满足式2的条件的情况下，即在时刻Dt比时刻Ct早的情况下，时刻Bt(利用一并搬出流程的调度表的结束时刻)比时刻At (利用依次搬出流程的调度表的结束时亥IJ)提早到来，换而言之，利用一并搬出流程的调度表比利用依次搬出流程的调度表提早结束。
[0247]S卩，在本发明中，基本原理为，确定利用依次搬出流程的调度表结束的时刻At和利用一并搬出流程的调度表结束的时刻Bt (第I以及第2确定工序)，相互比较确定哪个更早(比较工序)，然后采用更早的流程，但是，不需要直接计算利用依次搬出流程和一并搬出流程的调度表整体的结束时刻At、Bt并进行比较。通常，确定与这些时刻值的组(At、Bt)对应的“第I和第2判定用时刻值”(第I确定工序以及第2确定工序)，进行这两种搬运流程的比较判定(比较工序)。“第I和第2判定用时刻值”的优选例子为上述的时刻值的组(Ct、Dt)。
[0248]即，“第I判定用时刻值”能够采用表示时刻Ct的时刻值，该时刻Ct是比处理区域3中的在先基板Wl的处理结束时刻延迟包括中央机械手CR到达中转部50的往返所需时间在内的时间的时刻，“第2判定用时刻值”能够采用对处理区域3中的在后基板W2的处理结束时刻进行表示的时刻值Dt。以下将式2称为“一并搬运判别式“。
[0249]另外，在本实施方式的基板处理装置I中，在清洗处理结束后的基板被中央机械手CR保持的期间，存在需要规定时间Tb的“中间处理”即基板的取出工序。这样的中间处理不能够同时对两张以上的基板执行，是仅能够逐张依次对基板进行处理的排他性处理。
[0250]另外，对于在先基板Wl的清洗处理将要结束的预计时刻tl2(第I处理结束预计时刻)和在后基板W2的清洗处理将要结束的预计时刻t22 (第2处理结束预计时刻)而言，能够基于比第I处理结束预计时刻tl2延迟包括中间处理时间Tb和中央机械手CR的往返所需时间Tc在内的时间的时刻，确定第I判定用时刻值Ct，能够基于第2处理结束预计时刻t22，确定所述第2判定用时刻值Dt。
[0251]如该实施方式，在搬运单元(机械手)具有多个基板保持单元(手部)，多个基板保持单元一次能够从处理区域3取出一张基板的情况下，需要将各张基板的取出区段配置为在时间上不重叠，但是如后所述，在图15的流程中能够使其自动实现。
[0252]该图15是对应于上述的式2采用时刻值Ct作为第I判定用时刻值，采用时刻值Dt作为第2判定用时刻值的情况下的调度表生成过程。以下，详细描述。
[0253]在图15的步骤STl中，首先确定在该时间点还没确定开始时刻的时间区段中具有最早的开始预计时刻的时间区段，将其作为“确定候补区段”(仅称为“确定候补”)。
[0254]在该步骤STl中，由于不限定确定候补区段的数量，所以在基本调度表中，可能存在多个开始预计时刻最先的区段(即同时开始进行清洗处理的基板为多个的情况)。在这样的情况中，根据规定的处理工艺，将其中的I个作为确定候补区段。处理工艺例如可以是基于各基板的处理工艺决定的处理工艺，另外，可以是将对各基板预先赋予的基板识别号中最小的区段作为确定候补等的任意决定的处理工艺。
[0255]在图16中的(a)的例子中，构成基本调度表的区段BI?B6的开始时刻都未确定，对于各个区段BI?B6，仅通过基本调度表赋予假设的开始预计时刻(tll?t24)。因此，将在这些时刻中具有最先的开始预计时刻tll的清洗处理区段BI选作最初的确定候补区段。
[0256]此外，如上所述，将未确定的开始时刻以及结束时刻分别称为“开始预计时刻”以及“结束预计时刻”。
[0257]另一方面，对各时间区段预先赋予“属性标志F”(未图示)。该属性标志F具有以下的意义和赋予处理工艺。
[0258]I)对于“独立性区段”，F = O。
[0259]“独立性区段”被定义为能够与其它基板的相同的工序(独立性区段)独立地进行时间配置的时间区段。在本实施方式的情况下，由于在先基板Wi的清洗处理区段和在后基板W2的清洗处理区段不论如何进行时间配置，都相互不发生干涉，因此成为“独立性区段”。对这样的独立性区段赋予属性标志F = O。
[0260]2)对于“排他性区段”，F = I。
[0261]“排他性区段”被定义为在时间上不能够与其它基板的相同的工序(排他性区段)重叠执行的时间区段。在本实施方式中，因此中央机械手CR仅能够同时从处理单元取出一张基板，所以多张基板的取出区段在时间上不能重叠(也不能部分重叠)。因此，本实施方式中的“取出区段”为排他性区段。
[0262]本实施方式中的取出区段在时间上也不能够与使用相同的中央机械手CR的下述的“选择性区段”(搬运区段)重叠执行，对于此，通过赋予“在排他性区段错开至之后的时间段时，该排他性区段后续的选择性区段一并错开至之后的时间段”的处理工艺等，能够自动避免冲突(实施例后述)。
[0263]对于排他性区段标注属性标志F = I。
[0264]3)对于“选择性区段”，F = 2。
[0265]“选择性区段”被定义为具有如下性质的工序的区段，在时间上能够与其它基板的同种工序(选择性区段)“完全”重叠执行，还能够与其它基板的同种工序“完全不重叠地”执行，但是不能够与其它基板的同种工序“部分”重叠执行，不能够与其它基板的“排他性区段”的工序部分和完全重叠执行。
[0266]例如，若多张基板的搬运区段在时间上“完全”重叠，则能够通过一并搬运进行执行，若多张基板的搬运区段在时间上“完全不重叠”，则能够通过依次搬运进行执行，但是由于在中央机械手CR仅具有I台，所以不能够以在时间轴上“部分”重叠的方式在时间轴上配置多个搬运区段。
[0267]另外，由于搬运工序和取出工序使用相同的中央机械手CR，所以不能够同时将取出区段和搬运区段部分或全部重叠地配置。
[0268]对于这样的时间区段，赋予属性标志F = 2。赋予了属性标志F = 2的选择性区段不与属性标志F = I的排他性区段重叠，并且必须与赋予了属性标志F = 2的其它的基板的同种选择性区段形成“完全重叠”或者“完全不重叠”这两种状态中的某一种。由于选择分支具有两种，所以使用“选择性”这样的用语。
[0269]另外，各时间区段的属性标志F随着表示各时间区段的数据预先存储在图11的存储装置64内，在下述的判断过程中读取并参照。另外，以下，将根据该属性标志F的组合被禁止的时间配置，例如多个排他性区段在时间上重叠的调度表状态被称为“禁止状态”。
[0270]返回图15对过程进行说明。在图15的步骤ST2以下，对应于本实施方式的内容，以称为“清洗处理区段”、“取出区段”以及“搬运区段”的用语进行表示，但是通过将这些分另Ij替换为称作“独立性区段”、“排他性区段”以及“选择性区段”的用语，能够使图15的内容成为更一般的过程。
[0271]在步骤ST2中，参照确定候补区段的属性标志F。在图16中的(a)的情况中，作为确定候补区段最初选择了清洗处理区段BI，但是由于其属性标志为F = 0，所以前进至步骤ST3，基于其开始预计时刻tll确定清洗处理区段BI的开始时刻tall = tll。
[0272]然后，经由步骤ST8返回步骤ST1，由此，作为剩余的时间区段B2?B6中的具有最先的开始预计时刻t21的区段，将清洗处理区段B4选择为确定候补。由于该清洗处理区段B2也具有属性标志F = 0，所以与清洗处理区段BI相同，根据其开始预计时刻t21确定清洗处理区段B2的开始时刻ta21 = t21o
[0273]第3个选择为确定候补的是在先基板Wl的取出区段B2，但是由于该取出区段B2为具有属性标志F = I的排他性区段，所以前进至步骤ST4，判定是否存在在时间上与该取出区段B2重叠，且已经确定了开始时刻的其它基板的取出区段。在基准调度表中存在在时间上与取出区段B2重叠的其它的基板W2的取出区段B5，但是该取出区段B5的开始时刻还没有确定，因此对于取出区段B2，根据其开始预计时刻tl2确定开始时刻tal2 = tl2。
[0274]第4个选择为确定候补的是在后基板W2的取出区段B5，但是由于该取出区段B5为具有属性标志F = I的排他性区段，所以前进至步骤ST4，判定是否存在在时间上与该取出区段B5重叠且已经确定了开始时刻的其它取出区段。作为这样的取出区段，存在在先基板Wl的取出区段B2。
[0275]因此，前进至步骤ST5，使作为确定候补的在后基板W2的取出区段B5的开始时刻延迟至与在先基板Wl的取出区段B2之间的禁止状态消除的时刻。具体地说，使取出区段B5的开始预计时刻t22向后错开，由取出区段B2的结束时刻tl3(参照图16中的(b))确定该开始时刻ta22。
[0276]这样，在使一个时间区段(例如取出区段B5)向后错开时，在基本调度表中在该时间区段之后连续的其它的时间区段即搬运区段B6的开始预计时刻t23以及结束预计时刻t24也自动错开相同的错开时间(图16中的(b)的时刻ta23、ta24)。但是，由于搬运区段B6在该阶段还没有成为确定候补，所以仅进行开始“予定”时刻以及结束“予定”时刻的变更，还没确定为开始时刻以及结束时刻。
[0277]接着选择为确定候补的是在先基板Wl的搬运区段B3，但是由于该搬运区段B3为具有属性标志F = 2的选择性区段，所以前进至步骤ST6。然后，判定在后基板W2的独立性区段即清洗处理区段B2的结束预计时刻t22(Dt)是否比在先基板Wl的搬运区段B3的结束预计时刻114 (Ct)靠前。
[0278]由于清洗处理区段B4的结束预计时刻t22(Dt)比搬运区段B3的结束预计时刻tl4(Ct)靠前，所以在步骤ST5中，在时间上使搬运区段B3错开并延迟，来与还未确定开始时刻的在后的选择性区段(搬运区段B6)的时间段一致。并且确定搬运区段B3的开始时刻tal3以及结束时刻tal4。
[0279]最后选择为确定候补的是在后基板W2的搬运区段B6，但是因为该搬运区段B6也是具有属性标志F = 2的选择性区段，所以从步骤ST2前进至步骤ST6。在图16的例子中，由于仅假设两张基板W1、W2，所以不存在基板W2之后的在后基板。因此，在取出区段B5的步骤ST5中，将已经错开时间的搬运区段B6的开始预计时刻tal3确定为搬运区段B6的开始时刻。
[0280]这样，在图16的例子中，如图16中的(b)所示，生成包括两张基板Wl、W2的一并搬运流程的调度表数据SD(选择性调度表生成工序)。可知，两张基板Wl、W2的整体的搬出动作比图16中的(c)的依次搬运流程提早结束。图16中的(d)是采用一并流程的调度表的说明图，在至此的例子中，为与图16中的(b)相同的内容。
[0281]通过执行这样的图15的过程，在步骤ST7中，后续的基板W2的清洗处理区段B2的结束预计时刻Dt是否在在先基板Wl的搬运区段B3的结束预计时刻Ct之前的判定结果为，选择一并搬运流程，该判定条件是实现上述的一并搬运判别式(式2)的条件。
[0282]< 3.3调度表生成例2 >
[0283]在图17中的(a)的处理流程的在后基板W2的各区段B4至B6位于图16中的(a)的处理流程之后的时间段。在先基板Wl以及在后基板W2各自的清洗处理区段B1、B4的开始时刻tall、ta21分别由各自的开始预计时刻tll、t21确定，在先基板Wl的取出区段B2的开始时刻tal2由其开始预计时刻tl2确定(图17中的(b))。
[0284]接着，在搬运区段B3变为确定候补时，由于满足Dt < Ct的条件(一并搬运判别式)，所以搬运区段B3向后错开至与在后基板W2的搬运区段B6—致的时间段，其开始时刻由tal3确定，结束时刻由tal4确定。
[0285]接着，在在后基板W2的取出区段B5变为确定候补时，由于不存在在时间上与其重叠的取出区段，所以将其开始预计时刻t22确定为开始时刻ta22。
[0286]最后，在在后基板W2的搬运区段B6变为确定候补时，进行图15的步骤ST6的判定，但是由于Ct > Dt，所以满足式2的条件的结束预计时刻Ct不存在。因此，搬运区段B6的开始时刻ta23以及结束时刻ta24分别确定为与在先基板Wl的搬运区段B3的开始时刻tal3以及结束时刻tal4相同的时刻，来生成具有一并搬运流程的调度表数据SD (选择性调度表生成工序)。
[0287]<3.4调度表生成例3 >
[0288]在图18的情况下，依次将区段B1、B2选择为确定候补，其开始预计时刻tll、tl2不变更，根据它们确定开始时刻tall、tal2。
[0289]接着，将搬出区段B3选择为确定候补，但是不能够与该搬出区段B3部分重叠的是其它的搬出区段B6，由于与清洗处理区段B4不产生冲突，所以此时也将开始预计时刻tl3确定为开始时刻tal3。
[0290]进一步，将在后基板W2的清洗处理区段B4选择为确定候补，但是清洗处理区段B4为独立性区段，所以开始预计时刻t21不变更，将其确定为开始时刻ta21。
[0291]然后，在依次将取出区段B5以及搬出区段B6选择为确定候补时，由于没有变为禁止状态的时间配置，所以开始预计时刻t23以及结束预计时刻t24不变更，将其分别确定为开始时刻ta23以及结束时刻